MOCVD石墨盘

在MOCVD反应设备外延涂层工艺中，MOCVD基座材料的性能对于涂层有着非常重要的影响。基座石墨材料选择和加工工艺，对于SiC涂层有紧密影响。包括材料的纯度、硬度、热膨胀系数和导热率，都是非常重要的因素。